真空等離子清洗機(jī)屬于電子工業(yè)的干洗，在一定的真空條件下，對氣體施加走過的才能使之離化為等離子體，等離子體處置樣品外表從而完成清潔、改性、刻蝕的目的。后將污染物轉(zhuǎn)換為氣相，并經(jīng)過真空泵用連續(xù)氣體流將其排出。

真空等離子清洗機(jī)特點(diǎn)：

1、等離子外表處置設(shè)備防靜電托架設(shè)計(jì)，有效防止靜電對產(chǎn)品的影響；

2、托架與腔體的摩擦阻力小，有效控制運(yùn)用時微塵的產(chǎn)生，減少微塵對產(chǎn)品的影響；

3、托架限位設(shè)計(jì)，避免操作員誤操作將托架抽出，形成產(chǎn)品灑落；自動等離子清洗機(jī)

4、托架采用鋁條組合構(gòu)造，便當(dāng)產(chǎn)品取放且不會形成產(chǎn)品零落。

真空等離子清洗機(jī)應(yīng)用范疇：

1. 光學(xué)鏡頭

紅外濾光片：紅外濾光片在鍍膜前普通都要經(jīng)過超聲波清洗機(jī)和離心清洗機(jī)清洗，但若想要得到超干凈的基體外表，則需進(jìn)一步采用等離子外表處置，不只能去除基體外表肉眼看不到的有機(jī)殘留物，還能夠應(yīng)用等離子外表處置工藝對基體外表的活化和刻蝕等作用提高鍍膜質(zhì)量和良率。

2. 手機(jī)攝像模組

COB/COF/COG工藝：隨著智能手機(jī)的飛速開展，人們對手機(jī)拍攝圖片的質(zhì)量請求越來越高，COB/COG/COF工藝制造的手機(jī)攝像模組已被大量運(yùn)用到千萬像素的手機(jī)中。等離子外表處置技術(shù)在這些工藝制程中的作用越來越重要，濾光片、支架、電路板焊盤外表的有機(jī)污染物去除，各種測料外表的活化和粗化，進(jìn)而到達(dá)改善支架與濾光片的粘接性能，提高打線的牢靠性，以及手機(jī)模組的良率等目的。大氣等離子清洗設(shè)備