氣體流量是部分大氣等離子清洗機(jī)和真空等離子清洗機(jī)處理效果是否穩(wěn)定的重要技術(shù)參數(shù)，不同類型的等離子清洗機(jī)、使用不同的工藝氣體，對(duì)于氣體流量控制器的選擇會(huì)有所不同。我們總結(jié)了一些氣體流量控制器選擇的小貼士，現(xiàn)分享給大家。

1 大氣等離子清洗機(jī)的流量控制器選擇根據(jù)放電形式不同，大氣等離子清洗機(jī)放電所需氣體條件也是有講究的。常見的射流型和射頻型大氣等離子清洗機(jī)，應(yīng)該通入符合一定壓力和流量要求的壓縮空氣（CDA），才會(huì)產(chǎn)生穩(wěn)定的等離子體，以保證設(shè)備的正常運(yùn)行。通常的流量控制方式是以調(diào)壓閥和手動(dòng)浮子流量計(jì)配合的方式來保證工作氣壓和氣流的穩(wěn)定。

大氣等離子清洗機(jī)

建議選用帶有流量控制器的專用氣源來為其提供穩(wěn)定的工作氣體。此裝置最大的優(yōu)點(diǎn)是攜帶方便、氣源干燥清潔、壓力和流量持續(xù)穩(wěn)定。

2 真空等離子清洗機(jī)的流量控制器選擇

工藝氣體流量的穩(wěn)定性，會(huì)影響工業(yè)型真空等離子清洗機(jī)的處理效果，大多數(shù)工藝都對(duì)氣體流量控制要求非常嚴(yán)格，所以工業(yè)型真空等離子清洗機(jī)都是選用質(zhì)量流量控制器來實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝氣體流量的控制。在工業(yè)型真空等離子清洗機(jī)實(shí)際使用過程中，不同的工藝要求，需要選用不同流量控制范圍的質(zhì)量流量控制器，真空等離子清洗機(jī)常用的流量控制范圍通常在0~50SCCM、0~500SCCM之間，部分大型真空等離子清洗機(jī)也會(huì)用到0~1SLM規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。等離子清洗

通入不同的工藝氣體，建議選擇對(duì)應(yīng)氣體的專用質(zhì)量流量控制器，以保證輸入氣體的穩(wěn)定和計(jì)量；不同的工藝氣體，分子大小不同、化學(xué)特性不同，使用同規(guī)格的質(zhì)量流量控制器會(huì)存在流量誤差和安全隱患。如使用的是常規(guī)工藝氣體，也可選擇一種氣體作為標(biāo)準(zhǔn)，只需保證流量穩(wěn)定即可；但是對(duì)于H2、CF4等特殊氣體，易爆易燃具有腐蝕性的氣體，必須使用專用的質(zhì)量流量控制器。

實(shí)驗(yàn)型真空等離子清洗機(jī)機(jī)，通常對(duì)流量控制要求不是非常嚴(yán)格，純手動(dòng)操作的設(shè)備，也會(huì)選用手動(dòng)浮子流量計(jì)。

3 其他注意事項(xiàng)

真空等離子清洗機(jī)需保證真空反應(yīng)腔體內(nèi)的壓力穩(wěn)定，所以選擇好氣體流量控制器后，還需注意氣管接頭的挑選。通常我們會(huì)選用快擰接頭或卡套接頭作為氣體流量控制器的氣管接頭，以此來滿足工藝氣體真空管路的密封。

真空等離子清洗機(jī)在處理一些特殊材料的時(shí)候，可能會(huì)把液態(tài)單體作為放電介質(zhì)，就必須使用手動(dòng)浮子流量計(jì)作為流量控制器；對(duì)于腐蝕性單體則需使用防腐型的浮子流量計(jì)；對(duì)真空環(huán)境要求比較苛刻的，建議使用高密封性的浮子流量計(jì)。

如需對(duì)液態(tài)單體進(jìn)行流量監(jiān)控，也可增加氣液流量計(jì)，但需考慮單體的測(cè)量元素、沸點(diǎn)、冷凝點(diǎn)等因素，可視情況進(jìn)行選擇。真空等離子清洗機(jī)

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