深圳市普拉斯瑪自動化設(shè)備有限公司
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等離子表面清洗機(jī) BP140
設(shè)備規(guī)格:
Item | Specification | Remark |
制程規(guī)劃 | 手動將產(chǎn)品或載盤，放入腔體中的多層電極架中，中頻（100KHz）電源系統(tǒng)，對於擺放在電極架拖盤上或是料盒中的產(chǎn)品進(jìn)行真空等離子表面改質(zhì) | |
傳送方式 | 手動上下料（料盒）可放置10-20個料盒 | |
腔體 | 材質(zhì)：AL5052 | |
內(nèi)腔容積約140L（W:470mm*H610mm*D450mm） | ||
強(qiáng)化安全玻璃真空腔體視窗 ，抗紫外線及高頻輻射 | ||
真空泵 | 旋片泵+羅茨泵，pumping speed約250 M3/hr | 萊寶底泵+鮑斯羅茨泵 |
制程壓力10~100mtorr之間 | ||
壓力量測範(fàn)圍10-3~1 torr | ||
制程氣體 | 混和氣體：95% Ar+5%H2 | 氣體用量約：5~100sccm之間 |
質(zhì)流量控制MFC 1 set | ||
等離子電源 | 中頻 Generator（含匹配器） | |
頻率：100k | ||
功率：0-1000Watt | ||
等離子效應(yīng) | 載盤（電極）間互相電容感應(yīng)式產(chǎn)生區(qū)域等離子 | |
氣體流場分佈 | 門板前端進(jìn)氣口均勻?qū)胫瞥虤怏w | |
有效層流，提升等離子均勻度，由腔體後方排氣 | ||
安全聯(lián)鎖 | 當(dāng)腔體門打開，真空PUMP閥件關(guān)閉與RF電源無法啟動 | |
緊急停止開關(guān)EMS | 使用鎖定類型緊急停止開關(guān)和放置在方便操作的區(qū)域 | |
控制 | PLC+威倫觸控式螢?zāi)?/span> |
廠務(wù)需求
項目 | 規(guī) 格 | |
電 力 | 相 （Phase）/ 線 （Line） | 3 / 4 |
電壓（Volt)）/ 頻率（Hz） | 380 V/ 50Hz | |
功率（Power） | 4.5KVA Grounding | |
壓縮空氣 | CDA | 破真空用/氣動組件需求 |
壓力 Pressure （kg/cm2） | 6 | |
流量 flow rate （LPM） | 80 | |
管徑 Pipe dia.（mm） | 外徑6mm內(nèi)徑4mm | |
排 氣 | 內(nèi)迴圈 | 安裝原廠油氣過濾與回收套件 |
管徑 Pipe dia.（inch） | DN40 | |
外型尺寸 （Outline） | 寬*高*深（mm） | 約830*1200*1762 |
運(yùn)轉(zhuǎn)重量（kg） | 約750 KGW | |
軟體應(yīng)用：
1 整合方式PLC程序控制
2 觸控式顯示面板控制(臺灣威倫)。
3 最大5組製程參數(shù)預(yù)設(shè)及儲存。
受訓(xùn)內(nèi)容： (先期廠商端簡易驗收/廠商端受訓(xùn))
1 訓(xùn)練程序表：安裝，校正，操作，故障原因追查，保養(yǎng)及維修。
2 訓(xùn)練時間及地點：在安裝機(jī)地點或客戶端4小時教育訓(xùn)練。
驗收專案
量測點區(qū)相關(guān)位置
水滴角測試 | 以料盒間隔擺放的方式 |
落塵規(guī)格 | 建議環(huán)境Class 10000或以內(nèi) |
驗收相關(guān)事項 | 均值小于45度 |
