等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。

等離子清洗設(shè)備

1、電暈處理技術(shù)

電暈處理是一種使用高電壓的物理工藝，主要用于薄膜處理。電暈預(yù)處理的缺點是，表面活化能力相對較低，而且處理之后的表面效果有時不夠均勻。薄膜的反面也會被處理，有時這是工藝要求需要避免的。而且，經(jīng)由電暈處理得到的表面張力無法維持長時間的穩(wěn)定性，經(jīng)過處理的產(chǎn)品往往只能存放有限的時間。

2、真空等離子技術(shù)

這些等離子體在密閉的真空中產(chǎn)生(10 -3到10–9 bar)。與常壓條件下相比，每個單位體積中的微粒數(shù)較少，這樣就增加了粒子自由程長度，并相對減少了碰撞過程。因此，等離子體能量削弱的傾向減弱，可在空間內(nèi)更廣泛地傳播。要制造真空腔體，需要使用功能強大的氣泵。真空等離子技術(shù)不具備在線聯(lián)動功能。

3、高壓等離子技術(shù)

高壓等離子體由特殊的氣體放電管產(chǎn)生。這種等離子體對于表面處理來說并不重要。

常壓等離之處理技術(shù):常壓等離子是在大氣壓條件下產(chǎn)生的。常壓等離子處理技術(shù)的成本低、性能好，因而作為真空等離子和電暈工藝的工藝替代和工藝提升，獲得了廣泛的應(yīng)用。常壓等離子技術(shù)的一大優(yōu)勢，在于其在線集成能力。作為一項工藝準(zhǔn)則，這種技術(shù)能夠順利集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)系統(tǒng)中。